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催化燃燒法較適合于高濃度、小風量廢氣的凈化，在處理低濃度的廢氣時，由于要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需借助于活性炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，但廢氣中的水氣、油污及顆粒物易引起活性炭吸附容量下降及催化劑中毒失活等問題，使得該方法的推廣和使用在一定程度上受到了限制。
直接燃燒法是投加輔助燃料與廢氣一起送入焚燒爐燃燒，直接焚燒工藝成熟，控制一定的溫度條件下污染物去除效率高，焚燒徹底，但在使用過程中一般會有一下問題：
①若焚燒含氯、溴代有機物和芳烴類物質時極易產生二惡英類強致癌物質，尤其在焚燒爐啟動和關閉過程中更易產生，為避免二惡英類物質產生，須提高燃燒溫度在1200℃以上，若保持如此高的燃燒溫度不僅運轉費用高，而且對焚燒爐的要求也大大提高。
②焚燒含氯代有機物時會產生氯化氫腐蝕問題，尤其是在高溫狀態下，氯化氫的腐蝕性能大大增強，不僅對管道存在腐蝕，更嚴重的是會引起焚燒爐的腐蝕。
③焚燒時存在爆炸的潛在危險，尤其是易揮發性可燃氣體，若達到其爆炸極限遇明火則有可能引起爆炸。
另外，若廢氣中含有鹵素、氮元素和硫元素的情況下，采用燃燒法極易產生二次污染物質二惡英、氮氧化合物和硫氧化合物。
依據化工設計規范，設計系統應滿足防爆要求。此時熱力焚燒法、催化燃燒法均不能滿足工作場所要。
